RSM-750PL
電漿原理
在高壓電源的激勵(lì)下，使壓縮空氣、氧氣等工藝氣體在大氣環(huán)境下電離產(chǎn)生等離子體，並直接作用在產(chǎn)品表面進(jìn)行清洗，可改善板面的潔淨(jìng)度與濕濡性，以提高各種製程的良率。
詳細(xì)資料
設(shè)備特點(diǎn)
- 1. 可搭配機(jī)械手臂，針對(duì)立體表面作清潔。
- 2. 單獨(dú)搭配XY Table，可處理平面狀樣品。
- 3. 可以與線上作搭配，在線上（In-Line）作業(yè)。
- 4. 只需使用空氣（CDA）即可。
- 5. 可短時(shí)間作開(kāi)關(guān)的動(dòng)作。
- 6. 穩(wěn)定性與清潔效果佳。
電漿JET閥
- 1. 可處理的面積為? 35 mm。
- 2. 表面清潔的處理速度非?？?，可高達(dá)150~250 mm/sec。
- 3. 樣品離電漿出口的距離約為8~12 mm。
相關(guān)應(yīng)用
手機(jī)/平版/筆電/液晶/車載面板、建築牆面玻璃、白板玻璃、防爆玻璃...等
